下载基板研磨装置的技术资料

文档序号:24963020

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本发明涉及防止基板传送部的传送带受损的基板研磨装置,包括:基板传送部,传送基板;以及基板研磨部,包括配置在所述基板传送部上的研磨板和配置在所述研磨板的下部面上的研磨垫,基于所述基板相对于所述研磨板的相对位置,控制朝向所述基板的所述研磨板的倾...
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