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本实用新型公开了一种用于MEMS器件的防尘结构及MEMS麦克风封装结构，所述用于MEMS器件的防尘结构包括网格膜及载体，所述网格膜具有固定连接区、缓冲区和透声区，所述缓冲区环绕在所述透声区周围，所述固定连接区环绕在所述缓冲区周围，所述固定连...
该专利属于潍坊歌尔微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过潍坊歌尔微电子有限公司授权不得商用。

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