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本实用新型公开了一种等离子刻蚀机硅片加压夹具，包括底座，底座上部两端设置有支撑柱，支撑柱外围安装有弹簧，支撑柱上部外表面具有外螺纹，底座上方设置有压板，压板两端与支撑柱滑动连接，压板上部与支撑柱连接处设置有涡轮，涡轮底部设置有压块，涡轮与压...
该专利属于江苏国源激光智能装备制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏国源激光智能装备制造有限公司授权不得商用。

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