一种等离子刻蚀机硅片加压夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种等离子刻蚀机硅片加压夹具，包括底座，底座上部两端设置有支撑柱，支撑柱外围安装有弹簧，支撑柱上部外表面具有外螺纹，底座上方设置有压板，压板两端与支撑柱滑动连接，压板上部与支撑柱连接处设置有涡轮，涡轮底部设置有压块，涡轮与压块中间具有内螺纹，外螺纹与内螺纹相配合，支撑柱一侧的压板上部两端设置有轴承座，轴承座安装有蜗杆，轴承座外侧设置有把手，涡轮与蜗杆相啮合。本实用新型专利技术的有益效果是：本实用新型专利技术设计合理，结构简单稳定，实用性强；本实用新型专利技术设计合理，结构简单稳定，实用性强；不仅能够保证压板对硅片周边施加的压力平衡均匀，提高加压效果，还可以精确的控制压板对整叠硅片加压压力的大小。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子刻蚀机硅片加压夹具
本技术涉及硅片加工
，具体为一种等离子刻蚀机硅片加压夹具。
技术介绍
太阳能电池实际上是一个面积比较大的非线性PN结，在制作过程中，需要将扩散工序中形成的硅边缘P-N结去除，在大规模生产中，一般用CF4在高频电场中电离，产物与Si反应生成SiF4的方式来去除边缘PN结。因而反应过程中需将硅片层叠压紧。现有的硅片等离子刻蚀夹具，不能保证硅片四周的压力相平衡，使刻蚀效果不一致，不能准确控制产品质量。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种等离子刻蚀机硅片加压夹具。本技术通过以下技术方案来实现上述目的：一种等离子刻蚀机硅片加压夹具，包括底座，所述底座上部两端设置有支撑柱，所述支撑柱外围安装有弹簧，所述支撑柱上部外表面具有外螺纹，所述底座上方设置有压板，所述压板两端与所述支撑柱滑动连接，所述压板上部与所述支撑柱连接处设置有涡轮，所述涡轮底部设置有压块，所述涡轮与所述压块中间具有内螺纹，所述外螺纹与所述内螺纹相配合，所述支撑柱一侧的所述压板上部两端设置有轴承座，所述轴承座安装本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种等离子刻蚀机硅片加压夹具，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上部两端设置有支撑柱(2)，所述支撑柱(2)外围安装有弹簧(3)，所述支撑柱(2)上部外表面具有外螺纹(4)，所述底座(1)上方设置有压板(5)，所述压板(5)两端与所述支撑柱(2)滑动连接，所述压板(5)上部与所述支撑柱(2)连接处设置有涡轮(6)，所述涡轮(6)底部设置有压块(7)，所述涡轮(6)与所述压块(7)中间具有内螺纹(8)，所述外螺纹(4)与所述内螺纹(8)相配合，所述支撑柱(2)一侧的所述压板(5)上部两端设置有轴承座(9)，所述轴承座(9)安装有蜗杆(10)，所述轴承座(9)外侧设置有把手(11)，所...

【技术特征摘要】
1.一种等离子刻蚀机硅片加压夹具，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上部两端设置有支撑柱(2)，所述支撑柱(2)外围安装有弹簧(3)，所述支撑柱(2)上部外表面具有外螺纹(4)，所述底座(1)上方设置有压板(5)，所述压板(5)两端与所述支撑柱(2)滑动连接，所述压板(5)上部与所述支撑柱(2)连接处设置有涡轮(6)，所述涡轮(6)底部设置有压块(7)，所述涡轮(6)与所述压块(7)中间具有内螺纹(8)，所述外螺纹(4)与所述内螺纹(8)相配合，所述支撑柱(2)一侧的所述压板(5)上部两端设置有轴承座(9)，所述轴承座(9)安装有蜗杆(10)，所述轴承座(9)外侧设置有把手(11)，所述把手(11)与所述蜗杆(10)相连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈正，刘昭，周亮亮，
申请(专利权)人：江苏国源激光智能装备制造有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32