温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种用于晶圆不规则片的湿法工艺治具，包括：置物托，其底部设有多个均匀排布的置物卡槽，每个置物卡槽中均设有多个通孔；该置物托上还设有装配孔；可拆卸支撑杆，其垂直置于所述装配孔中。本实用新型可以保证湿法工艺时化学溶液的浸入和晶圆...
该专利属于武汉敏芯半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉敏芯半导体股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。