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本实用新型提供了一种硅片承载装置，包括相对设置的第一侧板和第二侧板，以及连接在所述第一侧板和第二侧板之间的若干齿杆，每一齿杆上设有若干间隔设置以用来安置硅片的卡槽；所述第一侧板或所述第二侧板上形成有密闭的容纳空间，所述容纳空间内安置有射频识...该专利属于盐城阿特斯阳光能源科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盐城阿特斯阳光能源科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司授权不得商用。