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本实用新型涉及芯片封装技术领域,本实用新型的技术方案为:一种高精度Fan‑out键合机,包括上机架底座,上机架底座上具有四个功能区域,最下层为晶圆物料传输区域,中层为芯片物料传输区域,上层为芯片键合区域,右侧为基板物料传输区域。采用本实用新...该专利属于嘉兴景焱智能装备技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过嘉兴景焱智能装备技术有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及芯片封装技术领域,本实用新型的技术方案为:一种高精度Fan‑out键合机,包括上机架底座,上机架底座上具有四个功能区域,最下层为晶圆物料传输区域,中层为芯片物料传输区域,上层为芯片键合区域,右侧为基板物料传输区域。采用本实用新...