下载玻璃基板的制造装置的技术资料

文档序号:24960179

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本实用新型提供一种玻璃基板的制造装置,该玻璃基板的制造装置能够防止尘埃附着于玻璃基板并制造具有高表面品质的玻璃基板。一种玻璃基板(G)的制造装置(1),其对在上游被加工的玻璃基板(G)进行清洗并干燥,其中,所述玻璃基板(G)的制造装置(1)...
该专利属于日本电气硝子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日本电气硝子株式会社授权不得商用。

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