【技术实现步骤摘要】
玻璃基板的制造装置
本技术涉及玻璃基板的制造装置的技术。
技术介绍
以往,在制造液晶面板(LCD)、等离子体显示板(PDP)、有机EL面板等的玻璃基板时,有时向玻璃基板的一面或两面贴附保护膜。在向玻璃基板的表面贴附保护膜时,若表面上附着有尘埃,则保护膜可能会剥离。因此,在向玻璃基板贴附保护膜的工序之前的工序中,进行清洗玻璃基板的表面的工序的玻璃基板的制造装置已被公知(例如参照专利文献1)。专利文献1的玻璃基板的制造装置具备:清洗部,其一边向玻璃基板的表面供给清洗液一边进行清洗;冲洗部,其对在清洗部中进行了清洗的玻璃基板的表面进行漂洗;以及干燥部,其对在冲洗部中进行了漂洗的玻璃表面进行干燥。另外,在干燥部中,作为对玻璃表面进行干燥的干燥单元的一例,设置有气刀。在先技术文献专利文献专利文献1:日本特开2008-212862号公报在专利文献1中,在干燥部中使用气刀进行干燥时,有时因由气刀引起的气流及从下游工序的成为正压的无尘室输送来的气流而在干燥部内产生紊流,微少残留的尘埃再次附着于清洗及漂 ...
【技术保护点】
1.一种玻璃基板的制造装置,其对在上游被加工的玻璃基板进行清洗并干燥,/n所述玻璃基板的制造装置的特征在于,具有:/n接触清洗部,其对玻璃基板进行清洗;/n冲洗部,其针对由所述接触清洗部进行了清洗的玻璃基板进行漂洗工序;以及/n干燥部,其对在所述冲洗部中进行了漂洗的玻璃基板进行干燥,/n在所述干燥部设置用于喷出洁净空气的清洁空气导入单元。/n
【技术特征摘要】
1.一种玻璃基板的制造装置,其对在上游被加工的玻璃基板进行清洗并干燥,
所述玻璃基板的制造装置的特征在于,具有:
接触清洗部,其对玻璃基板进行清洗;
冲洗部,其针对由所述接触清洗部进行了清洗的玻璃基板进行漂洗工序;以及
干燥部,其对在所述冲洗部中进行了漂洗的玻璃基板进行干燥,
在所述干燥部设置用于喷出洁净空气的清洁空气导入单元。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板的制造装置,其特征在于,
在所述接触清洗部、所述冲洗部及所述干燥部设置排气单元。
3.根据权利要求2所述的玻璃基板的制造装置,其特征在于,
在所述干燥部设置气刀,
所述排气单元的排气口配置在所述气刀指向的一侧。
4.根据权利要求2所述的玻璃基板的制造装置,其特征在于,
对所述玻璃基板进行搬运的搬运单元在与所述玻璃基板的搬运方向正交的宽度方向上倾斜,
在所述接触清洗部及所述冲洗部中,所述排气单元的排气口配置在所述搬运...
【专利技术属性】
技术研发人员:鉴继薰,中塚弘树,山本好晴,
申请(专利权)人:日本电气硝子株式会社,
类型:新型
国别省市:日本;JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。