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[问题]：提供一种能够防止颗粒产生的同时不降低吸附力的晶圆支撑装置。[解决方案]：在晶圆支撑装置中，卡盘电极(3)以预定的图案形成在绝缘基板的表面，并所述卡盘电极被由PBN或C‑PBN制成的绝缘覆膜层(5)覆盖，每个卡盘电极的表面具有带有凸...
该专利属于迈图石英日本合同会社所有，仅供学习研究参考，未经过迈图石英日本合同会社授权不得商用。

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