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本发明公开一种具有坩埚的离子源。在一些实施例中，坩埚设置在离子源的各端中与阴极相对的一端上。在其他实施例中，坩埚设置在各侧壁中的一者中。可呈固态形式的馈入材料设置在坩埚中。在某些实施例中，馈入材料通过等离子中的离子及电子而被溅射。在其他实施...
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