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一种衬底运输装置包括：框架；连接到所述框架的衬底运输臂，所述衬底运输臂具有末端执行器；以及驱动区段，所述驱动区段具有联接到所述衬底运输臂的至少一个电机，其中所述至少一个电机限定所述驱动区段的运动学部分，所述驱动区段的运动学部分被构造成实现所...
该专利属于布鲁克斯自动化公司所有，仅供学习研究参考，未经过布鲁克斯自动化公司授权不得商用。

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