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本发明提供一种半导体器件结构及其制作方法,半导体器件结构包括:衬底;第一晶体管,悬空于衬底之上;第二晶体管,悬空于衬底之上,且与第一晶体管具有间距;第一字线,位于第一栅极外围,且与第一栅极接触连接;第二字线,位于第二栅极外围,且与第二栅极接...该专利属于芯恩(青岛)集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过芯恩(青岛)集成电路有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种半导体器件结构及其制作方法,半导体器件结构包括:衬底;第一晶体管,悬空于衬底之上;第二晶体管,悬空于衬底之上,且与第一晶体管具有间距;第一字线,位于第一栅极外围,且与第一栅极接触连接;第二字线,位于第二栅极外围,且与第二栅极接...