温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明题为“等离子体管芯切割系统以及相关方法”。切割包括在衬底中的多个管芯的方法的实施方式可包括：通过去除耦接到该衬底的管芯道中的金属层，暴露该管芯道中的该衬底的衬底材料，其中该管芯道中的该衬底材料的仅一部分被去除；以及通过等离子体蚀刻该管...
该专利属于半导体元件工业有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过半导体元件工业有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。