下载一种晶圆测试的自动上下料装置及其上下料方法的技术资料

文档序号:24942700

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本发明公开了一种晶圆测试的自动上下料装置及其上下料方法,包括前开式晶圆传送盒,水平多关节机械叉手,压边组件,XY自动平移台,晶圆测试的自动上下料装置上设有底座,底座的上方设有晶圆传送盒装载口,晶圆传送盒装载口靠近上方的背面设有水平多关节机械...
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