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本发明实施例提供了一种测量装置及方法，其中装置包括：光源产生单元，用于发射一束光线，发射的光线具有相同的方向；分光单元，用于将光源产生单元发射的光线进行分光处理；分光处理后的光线具有多个方向；分光处理后的光线在晶圆的光阻材料薄膜表面上的N个...
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