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基于钛基板电镀图形转移方法制成的LTCC器件技术
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下载基于钛基板电镀图形转移方法制成的LTCC器件的技术资料
文档序号:24942622
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本发明提供一种基于钛基板电镀图形转移方法制成的LTCC器件,根据设计的电路图形,在钛基板表面制作抗电镀掩膜;将钛基板进行电镀制作铜线路图形;去除抗电镀掩膜后直接进行陶瓷浆料的流延;烘烤、干燥、剥离制得LTCC生瓷片;将制得的不同层的LTCC...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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