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本发明公开了一种半导体器件的制造方法及半导体器件,包括:提供半导体衬底;在半导体衬底上形成深阱、定义有源区及沉积多晶硅;提供第一光刻版,通过第一光刻版对多晶硅进行刻蚀,形成第一注入窗,注入第一导电类型离子,以形成第一导电类型阱,并在第一导电...该专利属于杰华特微电子(杭州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杰华特微电子(杭州)有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种半导体器件的制造方法及半导体器件,包括:提供半导体衬底;在半导体衬底上形成深阱、定义有源区及沉积多晶硅;提供第一光刻版,通过第一光刻版对多晶硅进行刻蚀,形成第一注入窗,注入第一导电类型离子,以形成第一导电类型阱,并在第一导电...