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本实用新型提供了一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，该结构合理，使用方便，易于定位贴片且提高成品质量的于光分路器晶圆贴片加工夹具；包括：底座、三爪卡盘、支撑柱；所述底座上设置有三爪卡盘，且三爪卡盘的底部通过支撑柱与底座固定连接；所述三爪卡盘的...
该专利属于深圳市辉耀智佳实业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市辉耀智佳实业有限公司授权不得商用。

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