一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具制造技术

本实用新型专利技术提供了一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，该结构合理，使用方便，易于定位贴片且提高成品质量的于光分路器晶圆贴片加工夹具；包括：底座、三爪卡盘、支撑柱；所述底座上设置有三爪卡盘，且三爪卡盘的底部通过支撑柱与底座固定连接；所述三爪卡盘的中间设置有真空吸盘，且真空吸盘通过螺母与三爪卡盘相连接；所述三爪卡盘的顶面上依次设置有晶圆贴片、盖板及上盖；所述底座的一侧设置有支撑臂，且支撑臂通过焊接方式与底座相连接；所述螺杆的下端设置有压板；通过对一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具的改进，具有结构合理，使用方便，易于定位贴片，提高成品质量的优点，从而有效的解决了本实用新型专利技术提出的问题和不足。

【技术实现步骤摘要】
一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具
本技术涉及晶圆加工
，更具体的说，尤其涉及一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，是光分路器芯片的重要组成部分。公告号为CN209261999U的中国专利公开了一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，包括C型支架、底座导轨、晶圆承载台、真空吸盘、真空导管、上盖导柱、上盖、水平调节模块、下压螺杆；C型支架包括有支架底座和弯折支架，在C型支架的支架底座上设有两条底座导轨；晶圆承载台底部嵌入底座导轨内，晶圆承载台中部设有真空吸盘，真空导管连接真空吸盘，晶圆承载台上表面四个角上设有上盖导柱；上盖下表面四个角上设有用于上盖导柱插入的导孔；水平调节模块放置在上盖上表面；C型支架的弯折支架前端设有下压螺杆，位于水平调节模块正上方。本技术一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，能有效控制光分路器晶圆与盖板之间层胶的均匀性。但是在使用上述夹具的过程中存在以下缺陷：1、向涂有胶水的晶圆贴片上安装盖板时，不易将保证盖板与晶圆贴片对齐，影响产品质量及合格率；2、在挤压胶水中的气本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，其特征在于：该结构合理，使用方便，易于定位贴片且提高成品质量的于光分路器晶圆贴片加工夹具；包括：底座(1)、三爪卡盘(2)、支撑柱(3)、真空吸盘(4)、螺母(5)、晶圆贴片(6)、盖板(7)、上盖(8)、支撑臂(9)、螺杆(10)、压板(11)；所述底座(1)上设置有三爪卡盘(2)，且三爪卡盘(2)的底部通过支撑柱(3)与底座(1)固定连接；所述三爪卡盘(2)的中间设置有真空吸盘(4)，且真空吸盘(4)通过螺母(5)与三爪卡盘(2)相连接；所述三爪卡盘(2)的顶面上依次设置有晶圆贴片(6)、盖板(7)及上盖(8)；所述底座(1)的一侧设置有支撑臂(9)，...

【技术特征摘要】
1.一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，其特征在于：该结构合理，使用方便，易于定位贴片且提高成品质量的于光分路器晶圆贴片加工夹具；包括：底座(1)、三爪卡盘(2)、支撑柱(3)、真空吸盘(4)、螺母(5)、晶圆贴片(6)、盖板(7)、上盖(8)、支撑臂(9)、螺杆(10)、压板(11)；所述底座(1)上设置有三爪卡盘(2)，且三爪卡盘(2)的底部通过支撑柱(3)与底座(1)固定连接；所述三爪卡盘(2)的中间设置有真空吸盘(4)，且真空吸盘(4)通过螺母(5)与三爪卡盘(2)相连接；所述三爪卡盘(2)的顶面上依次设置有晶圆贴片(6)、盖板(7)及上盖(8)；所述底座(1)的一侧设置有支撑臂(9)，且支撑臂(9)通过焊接方式与底座(1)相连接；所述螺杆(10)的下端设置有压板(11)，且螺杆(10)通过螺纹与支撑臂(9)相连接。


2.根据权利要求1所述的一种用于光分路器晶圆贴片加工夹具，其特征在于：所述三爪卡盘(2)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗宗元，
申请(专利权)人：深圳市辉耀智佳实业有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44