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本实用新型公开了一种3DMEMS探针卡用磨针装置及其电机驱动和调节结构，包括支撑柱、底板、顶板、电机驱动结构和调节结构，电机驱动结构包括顶板、盖板、导向槽、导向块、第一电机和轴承；调节结构包括滑槽、紧固螺栓、滑板、卡板、卡槽和调节柱。可直接...
该专利属于强一半导体(苏州)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过强一半导体(苏州)有限公司授权不得商用。

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