本实用新型专利技术公开了一种3DMEMS探针卡用磨针装置及其电机驱动和调节结构，包括支撑柱、底板、顶板、电机驱动结构和调节结构，电机驱动结构包括顶板、盖板、导向槽、导向块、第一电机和轴承；调节结构包括滑槽、紧固螺栓、滑板、卡板、卡槽和调节柱。可直接将探针卡合在安装孔的内部，通过移动安装板在活动槽内部的位置来调节探针与打磨盘上表面之间的位置，再通过拧紧紧固螺栓将顶板与安装板进行固定，能够提高打磨盘的使用效率；通过第一电机可驱动螺纹柱转动，由于螺纹柱与第一螺纹孔螺纹连接，此时螺纹柱会带动导向块顺着导向槽运动，以此来调整探针与打磨盘之间的距离，适用于不同长度的探针针尖的打磨。
【技术实现步骤摘要】
3DMEMS探针卡用磨针装置及其电机驱动和调节结构
本技术涉及一种磨针装置，具体是一种3DMEMS探针卡用磨针装置及其电机驱动和调节结构，属于3DMEMS探针卡加工
技术介绍
探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试；将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触，引出芯片讯号，再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的，探针卡应用在IC尚未封装前，针对裸晶系以探针做功能测试，筛选出不良品、再进行之后的封装工程，因此，探针卡是IC制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一。在现有技术中，探针在加工过程中需要对其末端进行打磨，现有的探针在打磨时容易出现打磨盘使用不充分的现象，容易出打磨盘浪费的现象，且不同型号的探针长度都大不相同，目前的磨针装置通用性不足，使用范围较窄。因此，针对上述问题提出一种3DMEMS探针卡用磨针装置及其电机驱动和调节结构。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种3DMEMS探针卡用磨针装置及其电机驱动和调节结构。本技术通过以下技术方案来实现上述目的，一种3DMEMS探针卡用磨针装置，包括从上到下依次安装的电机驱动结构、导向板、顶板、活动槽、盖板、安装板、调节结构、底板和支撑柱；所述电机驱动结构包括导向槽、导向块、第一电机和轴承，所述导向槽开设在所述导向板的内侧面，所述导向块卡合在所述导向槽内部，且所述导向块的上表面开有第一螺纹孔；所述第一电机固接在所述导向板顶端，所述第一电机的输出轴末端固接有螺纹柱，所述螺纹柱的两端均通过所述轴承与所述导向槽内侧壁转动连接，且所述螺纹柱与所述第一螺纹孔螺纹连接；所述调节结构包括滑槽、紧固螺栓、滑板、卡板、卡槽和调节柱，所述滑槽开设在所述活动槽的内侧壁上，所述安装板的两侧侧面均固接有滑板，所述滑板卡合在所述滑槽内部，且所述滑板的上表面开有凹槽；所述顶板的上表面开有第二螺纹孔，所述紧固螺栓与所述第二螺纹孔螺纹连接，且所述紧固螺栓的末端卡合在所述凹槽内部；所述卡槽开设在所述安装板的上表面，所述卡板固接在所述盖板的下表面，所述卡板卡合在所述卡槽内部，所述卡板的外端端面开有螺纹槽，且所述调节柱的末端贯穿所述安装板的一端并与所述螺纹槽螺合。优选的，所述支撑柱固接在所述底板的下表面，且所述导向板固接在所述底板的上表面。优选的，所述底板的下表面固接有第二电机，所述第二电机的输出轴末端固接有连接轴，所述连接轴底端通过所述轴承与所述底板转动连接，且所述连接轴顶端固接有打磨盘。优选的，所述顶板的两端端面均固接有所述导向块，且所述顶板与所述导向板滑动连接。优选的，所述安装板的上表面开有安装孔，且多个所述安装孔呈矩阵分布在所述安装板顶端。优选的，所述导向槽与所述卡槽均为凹字型结构，且所述导向块与所述卡板均为凸字型结构。一种3DMEMS探针卡用磨针装置用电机驱动结构，包括导向槽、导向块、第一电机和轴承，所述导向槽开设在所述导向板的内侧面，所述导向块卡合在所述导向槽内部，且所述导向块的上表面开有第一螺纹孔；所述第一电机固接在所述导向板顶端，所述第一电机的输出轴末端固接有螺纹柱，所述螺纹柱的两端均通过所述轴承与所述导向槽内侧壁转动连接，且所述螺纹柱与所述第一螺纹孔螺纹连接。一种3DMEMS探针卡用磨针装置用调节结构包括滑槽、紧固螺栓、滑板、卡板、卡槽和调节柱，所述滑槽开设在所述活动槽的内侧壁上，所述安装板的两侧侧面均固接有滑板，所述滑板卡合在所述滑槽内部，且所述滑板的上表面开有凹槽；所述顶板的上表面开有第二螺纹孔，所述紧固螺栓与所述第二螺纹孔螺纹连接，且所述紧固螺栓的末端卡合在所述凹槽内部；所述卡槽开设在所述安装板的上表面，所述卡板固接在所述盖板的下表面，所述卡板卡合在所述卡槽内部，所述卡板的外端端面开有螺纹槽，且所述调节柱的末端贯穿所述安装板的一端并与所述螺纹槽螺合。本技术的有益效果是：1、本技术可直接将探针卡合在安装孔的内部，通过移动安装板在活动槽内部的位置来调节探针与打磨盘上表面之间的位置，再通过拧紧紧固螺栓将顶板与安装板进行固定，能够提高打磨盘的使用效率；2、本技术通过第一电机可驱动螺纹柱转动，由于螺纹柱与第一螺纹孔螺纹连接，此时螺纹柱会带动导向块顺着导向槽运动，以此来调整探针与打磨盘之间的距离，适用于不同长度的探针针尖的打磨。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。图1为本技术整体结构示意图；图2为本技术电机驱动结构示意图；图3为本技术局部剖视图；图4为本技术盖板与安装板连接图；图5为本技术第二电机与打磨盘连接图；图6为本技术安装板与滑板连接图。图中：1、支撑柱，2、底板，3、导向板，31、导向槽，4、顶板，41、导向块，411、第一螺纹孔，5、活动槽，6、滑槽，7、盖板，71、卡板，711、螺纹槽，8、紧固螺栓，9、安装板，91、卡槽，10、调节柱，11、打磨盘，12、第一电机，13、轴承，14、螺纹柱，15、第二螺纹孔，16、滑板，161、凹槽，17、连接轴，18、第二电机，19、安装孔。具体实施方式为使得本技术的技术目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而非全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。具体实施例一请参阅图1-6所示，一种3DMEMS探针卡用磨针装置，包括从上到下依次安装的电机驱动结构、导向板3、顶板4、活动槽5、盖板7、安装板9、调节结构、底板2和支撑柱1；所述电机驱动结构包括导向槽31、导向块41、第一电机12和轴承13，所述导向槽31开设在所述导向板3的内侧面，所述导向块41卡合在所述导向槽31内部，且所述导向块41的上表面开有第一螺纹孔411；所述第一电机12固接在所述导向板3顶端，所述第一电机12的输出轴末端固接有螺纹柱14，所述螺纹柱14的两端均通过所述本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种3DMEMS探针卡用磨针装置，其特征在于：包括从上到下依次安装的电机驱动结构、导向板（3）、顶板（4）、活动槽（5）、盖板（7）、安装板（9）、调节结构、底板（2）和支撑柱（1）；/n所述电机驱动结构包括导向槽（31）、导向块（41）、第一电机（12）和轴承（13），所述导向槽（31）开设在所述导向板（3）的内侧面，所述导向块（41）卡合在所述导向槽（31）内部，且所述导向块（41）的上表面开有第一螺纹孔（411）；所述第一电机（12）固接在所述导向板（3）顶端，所述第一电机（12）的输出轴末端固接有螺纹柱（14），所述螺纹柱（14）的两端均通过所述轴承（13）与所述导向槽（31）内侧壁转动连接，且所述螺纹柱（14）与所述第一螺纹孔（411）螺纹连接；/n所述调节结构包括滑槽（6）、紧固螺栓（8）、滑板（16）、卡板（71）、卡槽（91）和调节柱（10），所述滑槽（6）开设在所述活动槽（5）的内侧壁上，所述安装板（9）的两侧侧面均固接有滑板（16），所述滑板（16）卡合在所述滑槽（6）内部，且所述滑板（16）的上表面开有凹槽（161）；所述顶板（4）的上表面开有第二螺纹孔（15），所述紧固螺栓（8）与所述第二螺纹孔（15）螺纹连接，且所述紧固螺栓（8）的末端卡合在所述凹槽（161）内部；所述卡槽（91）开设在所述安装板（9）的上表面，所述卡板（71）固接在所述盖板（7）的下表面，所述卡板（71）卡合在所述卡槽（91）内部，所述卡板（71）的外端端面开有螺纹槽（711），且所述调节柱（10）的末端贯穿所述安装板（9）的一端并与所述螺纹槽（711）螺合。/n...
【技术特征摘要】
1.一种3DMEMS探针卡用磨针装置，其特征在于：包括从上到下依次安装的电机驱动结构、导向板（3）、顶板（4）、活动槽（5）、盖板（7）、安装板（9）、调节结构、底板（2）和支撑柱（1）；
所述电机驱动结构包括导向槽（31）、导向块（41）、第一电机（12）和轴承（13），所述导向槽（31）开设在所述导向板（3）的内侧面，所述导向块（41）卡合在所述导向槽（31）内部，且所述导向块（41）的上表面开有第一螺纹孔（411）；所述第一电机（12）固接在所述导向板（3）顶端，所述第一电机（12）的输出轴末端固接有螺纹柱（14），所述螺纹柱（14）的两端均通过所述轴承（13）与所述导向槽（31）内侧壁转动连接，且所述螺纹柱（14）与所述第一螺纹孔（411）螺纹连接；
所述调节结构包括滑槽（6）、紧固螺栓（8）、滑板（16）、卡板（71）、卡槽（91）和调节柱（10），所述滑槽（6）开设在所述活动槽（5）的内侧壁上，所述安装板（9）的两侧侧面均固接有滑板（16），所述滑板（16）卡合在所述滑槽（6）内部，且所述滑板（16）的上表面开有凹槽（161）；所述顶板（4）的上表面开有第二螺纹孔（15），所述紧固螺栓（8）与所述第二螺纹孔（15）螺纹连接，且所述紧固螺栓（8）的末端卡合在所述凹槽（161）内部；所述卡槽（91）开设在所述安装板（9）的上表面，所述卡板（71）固接在所述盖板（7）的下表面，所述卡板（71）卡合在所述卡槽（91）内部，所述卡板（71）的外端端面开有螺纹槽（711），且所述调节柱（10）的末端贯穿所述安装板（9）的一端并与所述螺纹槽（711）螺合。
2.根据权利要求1所述的一种3DMEMS探针卡用磨针装置，其特征在于：所述支撑柱（1）固接在所述底板（2）的下表面，且所述导向板（3）固接在所述底板（2）的上表面。
3.根据权利要求1所述的一种3DMEMS探针卡用磨针装置，其特征在于：所述底板（2）的下表面固接有第二电机（18），所述第二电机（18）的输出轴末端固接有连接轴（17），所述连接轴（17）底端通过所述轴承（13）与所述底板（2）转动连接，且所述连接轴（17）顶端固接有打磨盘（11）。
【专利技术属性】
技术研发人员：刘明星，黄海军，
申请(专利权)人：强一半导体苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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