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本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种验证化学机械研磨装置性能的方法。所述验证化学机械研磨装置性能的方法包括如下步骤：形成一样品，所述样品包括衬底以及覆盖于所述衬底表面的金属层；采用一待验证的化学机械研磨装置对所述样品的所述金属层进行化...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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