下载一种磷锗锌多晶加压合成装置及合成方法的技术资料

文档序号:24930907

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本发明涉及一种磷锗锌多晶加压合成装置及合成方法,装置包括:主体炉体与安瓿,主体炉体包括内部炉体、外层加热装置、气压控制装置、冷却装置、密封法兰;内部炉体内沿轴向分成九个温区,冷却装置和外层加热装置环绕包裹在内部炉体的外围,设置在内部炉体各温...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十六研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第四十六研究所授权不得商用。

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