下载一种单晶炉热场加热器组件及单晶炉的技术资料

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本公开提供一种单晶炉热场加热器组件及单晶炉,该单晶炉热场加热器组件包括:设置于单晶炉热场内的坩埚底部的底部加热器,底部加热器的中部设有通孔,通孔内设有绝缘轴承套,底部加热器通过绝缘轴承套固定于坩埚的坩埚轴上,以使底部加热器在坩埚轴带动下运动...
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