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本发明公开的属于尾气处理技术领域，具体为一种应用于半导体尾气处理设备吸附反应过滤桶，包括支架和过滤外筒，所述过滤外筒的下表面中部连接有下输气管，所述下输气管的侧壁上连接有侧输气管，所述下输气管、侧输气管均为双层结构，所述下输气管的内层与侧输...
该专利属于绍兴市高笙半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴市高笙半导体科技有限公司授权不得商用。

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