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本实用新型公开了一种带有监测机构的晶圆装载支架，包括装载筒、承载板、大通槽、同步器、挡边块、丝杠、电机、超声波测距仪和支板，所述装载筒内部设有承载板，所述装载筒侧边开设有大通槽，所述装载筒外部顶端位于大通槽对应位置转动安装有丝杠，所述装载筒...
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