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包含部分离散电荷存储元件的三维反向平面NAND存储器装置和其制造方法制造方法及图纸
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下载包含部分离散电荷存储元件的三维反向平面NAND存储器装置和其制造方法的技术资料
文档序号:24896565
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一种三维存储器装置包含绝缘条带与导电条带的交替堆叠,其位于衬底上方且由线型沟槽彼此横向地间隔开。所述线型沟槽沿着第一水平方向横向地延伸,且沿着第二水平方向间隔开。每一线型沟槽填充结构包含横向起伏的电介质轨道,其沿着所述第二水平方向具有横向起...
该专利属于桑迪士克科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过桑迪士克科技有限责任公司授权不得商用。
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