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半导体装置及其制造方法制造方法及图纸
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文档序号:24896553
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本发明的目的在于提供能够抑制尺寸公差的影响的半导体装置及其制造方法。本发明涉及的半导体装置具有:多个冷却板(1),它们各自在内部具有冷媒通路(11);间隔件(5),其使各冷却板(1)分离地层叠;半导体封装件(2),其设置于至少1个冷却板(1...
该专利属于三菱电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱电机株式会社授权不得商用。
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