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本申请公开了一种MEMS结构的制造方法，包括：在衬底的正面上方形成压电复合振动层；蚀刻所述衬底的背面直至到达所述压电复合振动层，使得所述衬底包括外环体和设置于所述外环体内并且与所述外环体连接的支撑板，其中，所述支撑板和所述外环体之间形成空腔...
该专利属于安徽奥飞声学科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽奥飞声学科技有限公司授权不得商用。

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