下载一种钝化接触太阳电池制备方法的技术资料

文档序号:24892041

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本发明涉及一种钝化接触太阳电池制备方法,包括:(1)、对制绒后的基体双面硼扩散,形成双面p+掺杂发射极;(2)、去除基体背面的p+掺杂发射极,并抛光;(3)、在基体的双面均沉积隧穿氧化层和多晶硅层(4)、在基体的背面注入磷元素;(5)、对基...
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