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本发明公开了一种天线封装结构及其制造方法,通过在可拆键合载片上形成介质层和天线芯片焊盘、外接焊盘以及互连金属层;然后在介质层上制作第一侧墙和位于第一侧墙中的第一金属馈线柱,从而在第一侧墙之间形成第一空腔;接下来在第一空腔上方设置具有第一天线...该专利属于华进半导体封装先导技术研发中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华进半导体封装先导技术研发中心有限公司授权不得商用。
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