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本发明涉及一种用于芯片镀膜工艺的砝码模组，包括底座，底座上设置有XYZ三轴运动平台，XYZ三轴运动平台上设置有砝码组件，砝码组件包括若干根长条状砝码、下固定架以及上固定架；砝码组件还包括砝码的穿透下固定架和上固定架，且砝码在下固定架和上固定...
该专利属于深圳市海铭德科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市海铭德科技有限公司授权不得商用。

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