温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种微机电系统开关及其制造方法，其特征在于，微机电系统开关包括外壳和封装于其内部的开关，开关包括导线，悬臂梁，磁性件和静电驱动件，微机电系统的制造方法包括制造基片，印刷导线，去除电介质层，设置磁性件和静电驱动件，键合基片和基板。...
该专利属于无锡市伍豪机械设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡市伍豪机械设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。