一种微机电系统开关及其制造方法技术方案

本发明专利技术公开了一种微机电系统开关及其制造方法，其特征在于，微机电系统开关包括外壳和封装于其内部的开关，开关包括导线，悬臂梁，磁性件和静电驱动件，微机电系统的制造方法包括制造基片，印刷导线，去除电介质层，设置磁性件和静电驱动件，键合基片和基板。本发明专利技术的微机电系统开关具有高带宽、低插入损耗、低功耗和高线性度的特点，本发明专利技术的制造方法工艺步骤简单，稳定可靠，生产成品率高。

【技术实现步骤摘要】
一种微机电系统开关及其制造方法
本专利技术属于微机电系统(MEMS)领域，尤其涉及一种微机电系统开关及其制造方法。
技术介绍
现代电路系统中包括各种类型的开关，而MEMS开关以其高效、快速反应、准确、重复使用频率、高可靠性的特点，在现阶段发展迅速。但面对更高带宽、更低插入损耗、更小功耗和更高线性度的需求，性能更好、制造方法可靠的MEMS开关亟待开发。
技术实现思路
本专利技术的目的在于针对现有技术中的不足，提供一种微机电系统开关及其制造方法，制造出的微机电系统开关具有高带宽、低插入损耗、低功耗和高线性度的优点。为了达到上述目的，本专利技术采用的技术方案是：一种微机电系统开关，其包括：外壳和封装于所述外壳内部的开关；所述外壳包括基板和支撑所述基板的基片；所述开关包括：导线；悬臂梁，所述悬臂梁固定在基片电介质层内并具有至少一个可以自由移动的末端，所述末端以相对于所述导线一定间隙设置；磁性件，其用于为所述末端的移动提供部分驱动力；静电驱动件，其用于为所述末端的移动提供本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微机电系统开关，其特征在于，包括：外壳和封装于所述外壳内部的开关；/n所述外壳包括基板和支撑所述基板的基片；/n所述开关包括：/n导线；/n悬臂梁，所述悬臂梁固定在基片电介质层内并具有至少一个可以自由移动的末端，所述末端以相对于所述导线一定间隙设置；/n磁性件，其用于为所述末端的移动提供部分驱动力；/n静电驱动件，其用于为所述末端的移动提供部分驱动力或维持所述末端静止。/n

【技术特征摘要】
1.一种微机电系统开关，其特征在于，包括：外壳和封装于所述外壳内部的开关；
所述外壳包括基板和支撑所述基板的基片；
所述开关包括：
导线；
悬臂梁，所述悬臂梁固定在基片电介质层内并具有至少一个可以自由移动的末端，所述末端以相对于所述导线一定间隙设置；
磁性件，其用于为所述末端的移动提供部分驱动力；
静电驱动件，其用于为所述末端的移动提供部分驱动力或维持所述末端静止。


2.根据权利要求1所述的微机电系统开关，其特征在于，所述间隙为5至10μm。


3.根据权利要求1所述的微机电系统开关，其特征在于，所述电介质层选用高分子聚合物薄膜。


4.根据权利要求1所述的微机电系统开关，其特征在于，所述磁性件采用永磁体。


5.根据权利要求1至4任一项所述的微机电系统开关，其特征在于，还包括隔离电容器。


6.根据权利要求5所述的微机电系统开关，其特征在于，还包括第二电介质层，其设置于悬臂梁和导线之间，从而形成电...

【专利技术属性】
技术研发人员：卞经纬，
申请(专利权)人：无锡市伍豪机械设备有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32