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本发明属于光刻技术领域，具体涉及一种感光性组合物及其制备方法、图案形成方法、应用。其中感光性组合物包括以下原料：树脂组分和磺酸酯光酸产生剂。能够用于碱显影液溶解曝光的正型感光性组合物，形成具有优异的分辨率、灵敏度和良好对比度的图案。...该专利属于常州强力先端电子材料有限公司;常州强力电子新材料股份有限公司;常州强力光电材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州强力先端电子材料有限公司;常州强力电子新材料股份有限公司;常州强力光电材料有限公司授权不得商用。