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本发明公开一种电子束发散角测量装置及其制备方法和测量方法，包括荧光屏和钨微纳米图形，六羰基钨通过氦离子显微镜沉积在所述荧光屏上形成所述钨微纳米图形，所述钨微纳米图形为多个同心圆，同心圆的圆心位于所述荧光屏的中心处。利用氦离子显微镜离子辅助沉...
该专利属于中国科学院电工研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院电工研究所授权不得商用。

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