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一种基于驻极体发电机的放电测试装置及其测试方法，基于驻极体发电机的放电测试装置包括：驻极体发电机，用于输出高压直流脉冲；冲击电容，与驻极体发电机连接形成充电回路；测试平台，用于连接一被测器件；火花间隙，与测试平台、冲击电容连接形成放电回路，...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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