下载一种内建单向止回结构的低噪音电子真空泵的技术资料

文档序号:24884055

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本发明涉及一种内建单向止回结构的低噪音电子真空泵,通过路径延长止回件使进气室内的气流路径形成弯折延长,进而延长消音路径,增强消音效果。基于路径延长止回件与弹性隔膜的配合,构成内建的单向止回结构,实现单向止回功能,可有效地防止真空泵回吸液体、...
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