下载一种电子真空泵的泵室机构及泵室降噪的电子真空泵的技术资料

文档序号:24884053

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本发明涉及一种电子真空泵的泵室机构及泵室降噪的电子真空泵。所述的泵室机构中,将上导流槽与下导流槽设置为不完全对称的结构,可使真空泵在作业(叶片旋转)过程中,泵室内的气压变化更为缓慢,降低气体压力变化造成的噪声。同时,不完全对称的结构的上导流...
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