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本发明公开的单晶炉,包括牵引室,牵引室的外壁上设置有单晶硅棒测量组件和单晶硅棒转移保护组件,单晶硅棒测量组件包括位于牵引室外壁的纵向导轨,导轨上配合设置有底端可运动至牵引室下方的移动元件,移动元件的底端连接有与牵引室同轴的环形扫描元件,移动...该专利属于陕西梵翌琨机电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过陕西梵翌琨机电科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开的单晶炉,包括牵引室,牵引室的外壁上设置有单晶硅棒测量组件和单晶硅棒转移保护组件,单晶硅棒测量组件包括位于牵引室外壁的纵向导轨,导轨上配合设置有底端可运动至牵引室下方的移动元件,移动元件的底端连接有与牵引室同轴的环形扫描元件,移动...