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本发明提供一种CVD衬底托盘，由n个矩形衬底载具和n‑1个条状的卡持部件组成，通过拼接槽进行无缝拼接，通过卡持部连接衬底载具，固定衬底。本发明所述的CVD衬底托盘成本低、强度高、不易变形，可以根据需要调节托盘大小，并可降低托盘整体热应力，避...
该专利属于协鑫工业设计研究(徐州)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过协鑫工业设计研究(徐州)有限公司授权不得商用。

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