下载一种硅片加工废水的处理方法及装置的技术资料

文档序号:24881213

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本发明涉及一种硅片碱蚀液冲洗废水的回收工艺及方法,更具体地是涉及一种含有氢氧化钾、硅酸钾、有机物的碱液的净化工艺,属于三废处理技术领域。包括固液分离膜过滤系统、纳滤膜过滤系统。所述的固液分离膜过滤系统位于纳滤膜过滤系统的前端。固液分离膜过滤...
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