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本发明公开了一种晶圆盒定位工装及晶圆盒固定承载台，属于晶圆生产技术领域。该晶圆盒定位工装，包括工装主体和限位组件，其中，工装主体上开设有用于放置晶圆盒的嵌入凹槽，嵌入凹槽的槽壁上预设有卡槽，卡槽包括至少两个固定挡边，每个固定挡边分别用于相应...
该专利属于泓浒(昆山)半导体光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过泓浒(昆山)半导体光电有限公司授权不得商用。

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