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MEMS麦克风及电子装置制造方法及图纸
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文档序号:24873460
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本实用新型提供一种MEMS麦克风及电子装置,其中的MEMS麦克风包括具有背腔的衬底以及绝缘设置在衬底上的振膜;振膜包括固定在衬底上的支撑部以及位于支撑部内且悬设在背腔中的感应部;并且,在支撑部与感应部的结合处设置有应力宣泄部。利用上述实用新...
该专利属于歌尔微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过歌尔微电子有限公司授权不得商用。
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