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本实用新型涉及一种碳化硅晶片的退火用装置和退火用堆叠结构，碳化硅晶片的退火用装置包括C形装置底座和多个圆弧状凸起墩，C形装置底座设有C形上表面、C形下表面、内圆弧侧面和外圆弧侧面，多个圆弧状凸起墩等间距设置于C形上表面的外缘端，多个圆弧状凸...
该专利属于浙江博蓝特半导体科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江博蓝特半导体科技股份有限公司授权不得商用。

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