温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种具有功能表面的微型热管阵列芯片的制备方法，利用ＭＥＭＳ（微机电加工系统）技术制造硅三角型微槽阵列，然后将预先配制好的烷基三氯硅烷的乙醇溶液沿槽长度方向浸润槽道，使乙醇溶液依次通过蒸发段、绝热段和冷凝段，因槽道内表面各段的浸润时...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。