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本实用新型涉及石英管检测装置技术领域,具体涉及一种适用于半导体石英管的密封性检测装置,包括装置本体,其包括密封组件、密封板压力表、密封板连接管、封闭端压力表和固定器,密封组件包括内外两个密封板,两者将石英管内外端口封闭后在两者之间具有空腔,...该专利属于上海菲利华石创科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海菲利华石创科技有限公司授权不得商用。
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