【技术实现步骤摘要】
一种适用于半导体石英管的密封性检测装置
本技术涉及石英管检测装置
，具体涉及一种适用于半导体石英管的密封性检测装置。
技术介绍
随着半导体产业景气向上，对于石英管的需求大幅度增长，从而对于这类半导体管件类产品的质量要求也变得越来越高，尤其是一些半导体大型石英管的需求越来越大，密封性的技术指标越来越高。现有技术中对于石英管类产品的密封性检测通常是使用磨砂石英板实现的，通过人工手持的方式将石英板将石英管的管口密封，再对石英管进行抽真空后，将石英板的密封口处放入水池中观察进水情况，以此来判断管件的密封性能。此方法在检测大型石英管的密封性时，对所需水池的要求、安装吊具的要求和检测人员的操作要求较高，尤其是对检测人员的检测水平具有一定要求。而且，大型石英管一般为多端口结构，其除了最外端的端口外，往内壁延伸设有其他端口，从外观上观察，这类多端口结构一般呈台阶型结构，传统测试方式对于此类结构的人工测试难度较大，对操作人员提出更高的要求。因此，传统检测手段中，人的操作熟练程度直接影响大型管类的密封性检测准确性和检测效率
【技术保护点】
1.一种适用于半导体石英管的密封性检测装置，包括装置本体，所述装置本体设置于石英管上，所述石英管放置于测试台上，所述石英管的一端开口、另一端封闭，在其封闭端设有第一连接管和第二连接管，所述第一连接管和所述第二连接管均连通所述石英管的内腔，所述石英管的开口端的端口为双端口结构，包括内端口和外端口，其特征在于，所述装置本体包括密封组件、密封板压力表、密封板连接管、封闭端压力表和固定器，所述密封组件包括内密封板、外密封板，所述内密封板将所述内端口封闭，所述外密封板将所述外端口封闭，所述内密封板与所述外密封板之间具有一空腔，所述密封板压力表和所述密封板连接管均设置于所述外密封板上，...
【技术特征摘要】
1.一种适用于半导体石英管的密封性检测装置，包括装置本体，所述装置本体设置于石英管上，所述石英管放置于测试台上，所述石英管的一端开口、另一端封闭，在其封闭端设有第一连接管和第二连接管，所述第一连接管和所述第二连接管均连通所述石英管的内腔，所述石英管的开口端的端口为双端口结构，包括内端口和外端口，其特征在于，所述装置本体包括密封组件、密封板压力表、密封板连接管、封闭端压力表和固定器，所述密封组件包括内密封板、外密封板，所述内密封板将所述内端口封闭，所述外密封板将所述外端口封闭，所述内密封板与所述外密封板之间具有一空腔，所述密封板压力表和所述密封板连接管均设置于所述外密封板上，所述密封板连接管的一端连通所述内腔、另一端用于连接真空机；
所述外密封板上设有至少三个千分表；
所述封闭端压力表连接所述第一连接管，所述第二连接管的一端连通所述石英管的内腔、另一端连接真空机；
所述固定器固定于所述测试台的台面上，所述固定器设有一石英管固定孔，所述石英管穿过所述石英管固定孔，所述石英管的外壁和所述石英管固定孔的内壁之间设有一楔形密封圈，所述外密封板与所述固定器固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种适用于半导体石英管的密封性检测装置，其特征在于，所述内密封板上设有一弹簧，所述弹簧位于所述内密封板和所述外密封板之间。
3.根据权利要求2所述的一种适用于半导体石英管的密封性检测装置，其特征在于，所述外密封板上设有一定位销，所述弹簧为螺旋结构的弹簧，所述定位销与所述弹簧的设置位置相互配合后，当所述内密封板和所述外密封板分别将所述内端口和所述外端口封闭后，所述定位销位于所述弹簧的中心...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵涛，单佩，
申请(专利权)人：上海菲利华石创科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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