下载用于基板的对位方法及系统的技术资料

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一种用于基板的对位方法及系统,该对位方法包括:分别在第一基板(10)和第二基板(20)上形成一组电极对,该组电极对包括设置在第一基板(10)上的对位电极及设置在第二基板(20)上的电极阵列;向该组电极对输出驱动信号,检测该组电极对之间的耦合...
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